雷達隱身薄膜材料
導彈、飛機等武器的雷達目標特征控制一直是隱身技術(shù)研究的重點，由于傳統(tǒng)的雷達吸波材料不能用于觀通器件，降低導彈制導艙、飛機觀察窗的雷達散射截面（RCS）是實現(xiàn)其雷達隱身的關(guān)鍵內(nèi)容。雷達隱身薄膜材料兼具結(jié)構(gòu)和材料設(shè)計的雙重優(yōu)勢，具有優(yōu)異的濾波特性，與傳統(tǒng)的吸波材料相比，又具有“厚度薄、質(zhì)量輕、帶寬寬”等優(yōu)點，是導彈、飛機上觀通器件雷達隱身的首選材料。
針對不同的制導頻段，雷達隱身薄膜材料又可分為三種：用于電視末制導艙雷達隱身的銦錫氧化物（ITO）薄膜、用于紅外末制導艙雷達隱身的感性網(wǎng)柵薄膜和用于雷達末制導艙帶外雷達隱身的頻率選擇表面（FSS）。雷達隱身薄膜材料的設(shè)計涉及光學、電磁學和材料學三大領(lǐng)域。而在制作上，ITO膜為連續(xù)薄膜，采用合適的鍍膜工藝設(shè)備和手段即可實現(xiàn)；感性網(wǎng)柵膜是一種非連續(xù)薄膜，其性能與結(jié)構(gòu)和材料相關(guān)，且線寬越窄、性能越好，因此，制作感性網(wǎng)柵膜將涉及光刻與鍍膜兩大領(lǐng)域；FSS不僅結(jié)構(gòu)上不連續(xù)，而且對材料的厚度、介電參數(shù)、結(jié)構(gòu)尺寸、單元排列方式等相當敏感，因此，制作FSS的工藝手段需結(jié)合光刻、鍍膜和層合等三種工藝技術(shù)。